KLAのウェハー検査事業はブロードバンドプラズマ方式や電子ビーム方式による欠陥検出システムを提供し売上の過半を占める一方、パターニング事業はレチクル検査やオーバーレイメトロロジーといった別領域の製品群を扱う。
半導体製造工程の異なる段階での検査ソリューションを比較検討する技術者
複数の検査・メトロロジー技術領域を一社でカバーしている点