東京エレクトロンは、同社推計でコータ／デベロッパやガスケミカルエッチング、拡散炉、バッチ成膜、メタル成膜、プローバで世界1位、プラズマエッチングとボンダーで2位としています。2025年12月にはHigh-NA EUVにも対応するコータ／デベロッパを発表しました。一方、Lam Researchはエッチング・成膜・洗浄を中核とする米国の装置メーカーで、プラズマエッチングなどでTELと重なる領域があります。両社の優劣は、出典の自己推計だけでは断定できません。
半導体製造装置メーカーとしての東京エレクトロンの強みと、Lam Researchとの関係
TELの特徴はリソグラフィ前後工程のコータ／デベロッパを軸にした広い製品群ですが、シェア順位は同社推計であり第三者の検証値ではありません。