東京エレクトロンの装置は、半導体ウエハーに回路を形成する工程で使われます。例えばコータ／デベロッパは、露光の前後でレジストを塗布・現像する装置で、2025年12月発表の「CLEAN TRACK LITHIUS Pro DICE」はHigh-NA EUVとDUVの両方に対応し、同社はウエハー欠陥を従来比で50%以上減らせると説明しています。このほか成膜、エッチング、洗浄、プローバといった工程向け装置を用意しています。欠陥低減の数値は同社の発表に基づきます。
東京エレクトロンの製造装置が担う工程と用途
性能値は同社の発表であり、顧客の量産環境で独立に検証された数値ではありません。