レーザーテックは、1960年7月に創業し、神奈川県横浜市港北区新横浜に本社を置く光学検査・計測装置メーカーです。事業は半導体関連装置、FPD(フラットパネルディスプレイ)関連装置、レーザー顕微鏡の三つで、半導体関連ではマスクブランクス検査装置やEUVアクティニックマスク検査装置を提供しています。半導体チップそのものではなく、EUVリソグラフィに使うマスクなどの欠陥を調べる検査装置が特徴です。
レーザーテックの会社概要と製品領域
成膜やエッチングではなく、マスクなどの光学検査に特化している点が装置メーカーの中での特徴です。