レーザーテックは、EUV光（13.5nm）でマスクを検査するアクティニック方式の装置を提供しており、同社は2017年にブランクス検査装置、2019年にパターン付きマスク検査装置を世界初として発表したと述べています（同社の主張）。Semiconductor Engineeringの2020年1月の記事は、KLAが光学式やマルチビーム電子線方式のEUVマスク検査ツールを開発中で、ZeissがアクティニックのレビューツールAIMSを販売していると紹介しています。2020年時点の状況であり、現在の競合状況や優劣はこの出典からは判断できません。
EUVマスク検査分野でのレーザーテックと競合の方式の違い
レーザーテックの特徴はEUV光そのものを使うアクティニック検査ですが、「世界初」は自社の主張で、記事も2020年時点の論評です。