先端ロジックの回路をさらに微細にするという課題に使われます。ASMLの製品ページでは、NXE:3400Cが7nmと5nm、NXE:3600Dが5nmと3nm、NXE:3800Eが2nmロジックの各ノードに対応するとされています。2026年7月にはIntelが一部の18A層でHigh-NA EUVを量産に適用したとASMLが発表したと、Futurum Groupが伝えています。
EUVが対象とする製造ノードと適用の実例
微細化の限界に対応するが、適用範囲は先端ノードの一部の層に段階的に広がっている段階である。