技術仕様の一次情報としてはASMLの製品ページと解説記事（13.5nm、NA 0.33と0.55、EXE:5000の出荷など）があります。研究機関の視点ではimecの2021年10月の解説が8nm解像度と課題を整理しています。独立した情報としては、IRDSの見通しを報じたSemiconductor Engineering（2021年11月）と、Intel 18Aでの量産適用を伝えるFuturum Groupの分析（2026年7月）があります。ASMLは唯一の供給者である当事者でもあるため、数値は第三者の記事と併せて確認する必要があります。
EUVに関する一次情報と第三者情報の所在
装置メーカーの記載は当事者の情報であり、ロードマップや量産適用は第三者の報道・分析で補う必要がある。