研究機関の資料としては、imecの2022年2月のナノシート解説と2018年12月のナノワイヤ研究の発表があります。学術的な計測研究としては、2025年7月のarXiv論文が試作GAAの歪みと界面ラフネスを原子レベルで定量化しています。量産状況の一次情報はTSMCのN2ページとIntelの18Aページですが、いずれも企業自身の記載です。arXiv論文はプレプリントで査読済みとは限らず、性能値は各社の公称値である点に注意してください。
GAAに関する研究機関・論文・企業資料の所在
研究資料は構造と課題を、企業資料は量産状況を示すが、後者は自社の記載である。